SEMOZON臭氧發(fā)生器及集成系統(tǒng)

• SEMOZON AX8407/8407C高濃度，高流量臭氧發(fā)生器 緊湊型臭氧發(fā)生器
• O3MEGA AX8561集成電子流量，壓力控制的臭氧發(fā)生器系統(tǒng)
• SEMOZON AX8550 二通道臭氧發(fā)生及恒系統(tǒng)
• SEMOZON AX8555 四通道臭氧發(fā)生器集成系統(tǒng)
• SEMOZON AX8575 多通道臭氧發(fā)生器集成系統(tǒng) 可集成冷卻水交換器

LIQUZON臭氧水循環(huán)系統(tǒng)

• LIQUOZON Smart臭氧水遞送系統(tǒng)。提供高濃度，大流量臭氧水
• LIQUOZON Single 臭氧水遞送系統(tǒng)。緊湊型設(shè)計，適用于單片硅片清洗系統(tǒng)
• LIQUOZON LoopO3 臭氧水循環(huán)遞送系統(tǒng)。緊湊型設(shè)計，帶循環(huán)水泵，主要用于硅片清洗工藝
• LIQUOZON PrimO3 臭氧水循環(huán)遞送系統(tǒng)。高濃度，大流量，帶循環(huán)水泵，主要用于硅片清洗工資

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