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氦質(zhì)譜檢漏儀，EBARA真空泵，普發(fā)檢漏儀，普發(fā)真空泵，inficon，壓力控制器

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MKS電源

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Tru-Flo質(zhì)量流量檢驗(yàn)器	以壓力為基礎(chǔ)的流量控制器	MASS-FLO 系列橡膠密封質(zhì)量流量控制器	MF1系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
General系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器	MASS-FLO系列金屬密封質(zhì)量流量控制器	金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器	臭氧發(fā)生器
MKS電源-等離子體電源	反應(yīng)氣體發(fā)生器	ENI射頻電源阻抗匹配器	MKS電源-直流/脈沖功率電源
MKS電源-射頻功率電源

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真空設(shè)備研發(fā)制造

普發(fā)真空系列產(chǎn)品

MKS系列產(chǎn)品

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EBARA真空泵（EBARA Vacuum Pump)

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